千亿国际(唯一)平台

日本理学连续波长色散千亿国际(唯一)平台ZSX Primus 400-千亿国际通用

型号:ZSX Primus 400
Rigaku 独特的 ZSX Primus 400 连续波长色散 X 射线荧光 (WDXRF) 光谱仪专为处理非常大或重的样品而设计。

产品描述

连续波长色散千亿国际(唯一)平台

Rigaku 独特的 ZSX Primus 400 连续波长色散 X 射线荧光 (WDXRF) 光谱仪专为处理非常大或重的样品而设计。该系统可接受直径最大为 400 毫米、厚度为 50 毫米和质量为 30 千克的样品,非常适合分析溅射靶材、磁盘,或用于多层薄膜计量或大型样品的元素分析。

优点

带有定制样品适配器系统的 XRF ,适应特定样品分析需求的多功能性,可使用可选适配器插件适应各种样品尺寸和形状。凭借可变测量点(直径  30 毫米至 0.5 毫米,具有 5 步自动选择)和具有多点测量的映射功能以检查样品均匀性

具有可用相机和特殊照明的 XRF ,可选的实时摄像头允许在软件中查看分析区域。

仍保留了传统仪器的所有分析能力。


安全性

采用上照射设计 ,样品室可简单移出 ,再不用担心污染光路,清理麻烦和增加清理时间等问题。


应用领域

固体、液体、粉末、合金和薄膜的元素分析 :

溅射靶材组成 .

隔离膜: SiO 2 BPSG PSG AsSG Si₃N₄ SiOF SiON 等。

k 和铁电介质薄膜: PZT BST SBT Ta2O5 HfSiOx

金属薄膜: Al-Cu-Si W TiW Co TiN TaN Ta-Al Ir Pt Ru Au Ni 等。

电极膜:掺杂多晶硅(掺杂剂: B N O P As )、非晶硅 WSix Pt 等。

其他掺杂薄膜( As P )、困惰性气体( Ne Ar Kr 等)、 C DLC

铁电薄膜、 FRAM MRAM GMR TMR PCM GST GeTe

焊料凸点成分 SnAg SnAgCuNi

MEMS ZnO AlN PZT 的厚度和成分

SAW 器件工艺 AlN ZnO ZnS SiO 2 (压电薄膜)的厚度和成分; Al AlCu AlSc AlTi (电极膜)


■ 技术参数

大样本分析 最大 400 毫米(直径) 最大 50 毫米(厚度) 高达 30 千克 (质量)

样品适配器系统 适用于各种样本量

测量点 30 毫米至 0.5 毫米直径 5 步自动选择

映射能力 允许多点测量

样品视图相机( 可选

分析 范围 Be - U

元素范围: ppm  %

厚度范围: sub Å  mm

衍射干扰抑制( 可选 单晶衬底的准确结果

符合行业标准 SEMI C E标志

占地面积小 以前型号的 50% 占地面积





在线
客服